隨著電子技術的不斷發(fā)展,越來越多的精密細小器件逐步開放和增長,作為對細小器件檢測的bi備儀器—探針臺也顯得越來越重要。探針臺可以將待測器件進行放大幾十到上千倍,可將微觀層面的東西搬到宏觀上來進行研究,連接測試儀器儀表進行測量。那么如何選擇一款適合的探針臺顯得尤為重要。
第一,我們需要選擇合適尺寸的樣品座,會有2英寸、4英寸、6英寸、8英寸和12英寸之分,如果我們測試的樣品是大的晶圓或器件,我們還需要注意的是,探針是否能滿足扎到樣品的任意位置。
第二,我們選用探針臂的數(shù)量和類型,可以最多同時搭載6個探針臂,探針臂的類型有直流臂、射頻臂和微波臂,會配備相應的探針。
第三,因為不同的測試,我們需要對應的測試環(huán)境,我們可以選擇是否帶有磁場,磁場是固定的還是變磁場,對應的就要配備永磁鐵和電磁鐵。
第四,我們的測試是否有溫度需要,我們需求的溫度范圍是多少,有室溫、4K-室溫階段(真空下)、有液氮溫度-800K(真空下),對應的是室溫手動探針臺、4K閉循環(huán)探針臺、液氮高低溫真空探針臺。
第五,我們需要明白自己的測試樣品是多大的電極點或者Pad點,需要選擇一款適合自己顯微鏡系統(tǒng),有最小識別3μm、1μm、0.1μm之分,因為隨著顯微鏡的放大倍數(shù)的增大,相應的顯微鏡的工作距離會縮短(物鏡到樣品表面的距離),我們要考慮關于工作距離的要求,同時一般建議我們探針直徑最好是不大于Pad點的四分之一,利于扎針和測試。
第六,如果我們探針臺的放置位置有空間尺寸的限制,我們需要考慮整體探針臺的大小尺寸。
總體來說,如何購買一臺適合自己的探針臺,我們需要考慮多方面的內容??梢愿鶕?jù)每家探針臺廠家的參數(shù)及價格進行對比,最終可以買到一臺適合自己需求的設備。